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发明名称 INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0290076(A) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 JP19880241108 申请日期 1988.09.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 EGUCHI NAOMI;YOSHIMOTO MASAHITO
分类号 G01R31/28;G01R31/30;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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