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发明名称 FORMATION OF OPEN HOLE PART
摘要
申请公布号 JPH0289311(A) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 JP19880241982 申请日期 1988.09.27
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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