| 发明名称 |
SAMPLE ATTITUDE CONTROL DEVICE IN VACUUM SAMPLE CHAMBER FOR ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0290447(A) |
申请公布日期 |
1990.03.29 |
| 申请号 |
JP19880242078 |
申请日期 |
1988.09.27 |
| 申请人 |
KOYO SEIKO CO LTD |
发明人 |
TADANE TSUTOMU;TAKEBAYASHI HIROAKI |
| 分类号 |
H01J37/20;B06B3/00;H01L41/04 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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