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发明名称 ANALYZER OF INTEGRATED CIRCUIT BY MEANS OF LIQUID CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0287642(A) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 JP19880241418 申请日期 1988.09.26
申请人 NEC CORP 发明人 SANADA KATSU
分类号 G01R31/26;G01N25/72;G02F1/13;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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