发明名称 ALLOY TARGET FOR SPUTTERING AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH0288767(A) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 JP19880238842 申请日期 1988.09.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAKAMOTO AKIHIRO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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