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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0287623(A) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 JP19880241414 申请日期 1988.09.26
申请人 NEC CORP 发明人 YORIKANE MASAHARU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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