| 摘要 |
<p>Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines Musters aus einem elektrisch leitfähigen Material, umfassend die Schritte i) galvanisches Abscheiden eines Films eines organischen Polymers, das im Mittel mehr als eine reaktive funktionelle Gruppe pro Molekül aufweist, auf einer elektrisch leitfähigen Oberfläche, ii) Ausbilden eines vorbestimmten Musters eines hitzehärtbaren Resists auf dem galvanisch abgeschiedenen Film, wobei vorbestimmte Flächenanteile besagten galvanisch abgeschiedenen Films unbedeckt bleiben und wobei besagter hitzehärtbarer Resist im Mittel mehr als eine Gruppe pro Molekül aufweist, die beim Erhitzen mit den reaktiven Gruppen im galvanisch abgeschiedenen Film umsetzbar ist, iii) Entfernen der unbedeckten Flächen des galvanisch abgeschiedenen Films durch Behandlung mit einem Lösungsmittel für diesen Film, wobei eine Oberfläche entsteht, die in vorbestimmten Flächenanteilen freiliegendes leitfähiges Material aufweist und die in anderen vorbestimmten Flächenanteilen leitfähiges Material aufweist, das mit dem galvanisch abgeschiedenen Film und dem Resist bedeckt ist, und iv) Erhitzen, um die Adhäsion des Resists auf der elektrisch leitfähigen Oberfläche durch Vermittlung der Flächenanteile des galvanisch abgeschiedenen Films, der mit dem Resist bedeckt ist, zu vervollständigen, wobei die Schritte iii) und iv) in beliebiger Reihenfolge ausgeführt werden können.</p> |
