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PURPOSE:To make the gas phase growth reaction, by alternately arranging the ultrared ray lamp and the ultraviolet ray lamp, and covering the whole body by the reflective plate.
申请公布号
JPS5826658(B2)
申请公布日期
1983.06.04
申请号
JP19760036140
申请日期
1976.04.02
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MAEDA KAZUO;KUDO DAIJIRO;FUJINO KATSUHIRO;KUMAKURA SHUNJI;TANIGAWA YOSHIKI
分类号
C30B25/02;C23C16/48;C30B25/10;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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