发明名称 Electron beam source.
摘要 Der Elektronenstrahlerzeuger besteht aus einer linienförmigen Kathode (K), insbesondere einem LaB6-Schneidenemitter mit abgeflachter Spitze, einer in der Ebene der Kathodenspitze angeordneten Schlitzblende (W) und einer Doppelanode, deren Elektroden (A1, A2) ebenfalls als Schlitzblenden ausgebildet sind. Die Potentiale (VW, VA1, VA2) der Schlitzblenden (W, A1, A2) und deren Abstände (z) zur Kathode (K) werden jeweils so vorgegeben, daß eine stigmatische virtuelle Elektronenquelle im Unendlichen liegt.
申请公布号 EP0360035(A2) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 EP19890115839 申请日期 1989.08.28
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ROSE, HARALD, PROF. DR.;SCHONECKER, GERHARD, DIPL.-PHYS.
分类号 H01J37/063;H01J37/09;H01J37/153;H01J37/30 主分类号 H01J37/063
代理机构 代理人
主权项
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