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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0287146(A) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 JP19880238745 申请日期 1988.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAYAKAWA HAJIME;MORIUCHI NOBORU;MIZUNO FUMIO
分类号 G03F7/039;G03F7/095;G03F7/11;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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