发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0287646(A) |
申请公布日期 |
1990.03.28 |
申请号 |
JP19880240202 |
申请日期 |
1988.09.26 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ISHIKAWA HIDEAKI;MIYAUCHI EIZO;FUJII TOSHIO |
分类号 |
H01L29/68;H01L21/203;H01L21/331;H01L21/338;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/201;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;H01L31/10;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L29/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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