发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0287646(A) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 JP19880240202 申请日期 1988.09.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIKAWA HIDEAKI;MIYAUCHI EIZO;FUJII TOSHIO
分类号 H01L29/68;H01L21/203;H01L21/331;H01L21/338;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/201;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;H01L31/10;H01S5/00 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
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