发明名称 ELECTRIC-ELECTRONIC DEVICE INCLUDING POLYIMIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 EP0237017(A3) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 EP19870103403 申请日期 1987.03.10
申请人 KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA 发明人 UEKITA, MASAKAZU;AWAJI, HIROSHI
分类号 H01L27/12;G01N27/00;G01N27/414;H01L21/28;H01L21/312;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/94;H01L45/00;H01L49/02;H05B33/22;(IPC1-7):H01L21/312;B05D1/20;H01L29/62 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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