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发明名称 NEGATIVE WORKING ELECTRON BEAM RESIST SYSTEM TO BE DRY-DEVELOPED
摘要
申请公布号 EP0141311(B1) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 EP19840112183 申请日期 1984.10.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KAPLAN, LEON H.;KAPLAN, RICHARD DEAN
分类号 G03F7/038;H01L21/027;G03F7/30;G03F7/36 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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