发明名称 FORMATION OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0287521(A) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 JP19880238514 申请日期 1988.09.22
申请人 NEC CORP 发明人 MURATA TADAHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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