发明名称 TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0286120(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880237948 申请日期 1988.09.22
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 YOKOGAWA OSAMU;TAKANABE EIICHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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