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发明名称
TREATMENT
摘要
申请公布号
JPH0286120(A)
申请公布日期
1990.03.27
申请号
JP19880237948
申请日期
1988.09.22
申请人
TEL SAGAMI LTD
发明人
YOKOGAWA OSAMU;TAKANABE EIICHIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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