| 发明名称 |
THIN-FILM PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0285737(A) |
申请公布日期 |
1990.03.27 |
| 申请号 |
JP19870254459 |
申请日期 |
1987.10.07 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
SUZUKI TOMOTAKE;TACHIKA ATSUSHI;KAMAIKE MAKOTO;TABATA AKI;INAGAKI HIROSHI |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;G01L19/04;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
