发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH0287009(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880238698 申请日期 1988.09.26
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KANEKO REIZO
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01Q30/08;G01Q30/14;G01Q30/20;G01Q60/24 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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