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发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0286032(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880234796 申请日期 1988.09.21
申请人 NIPPON FUIJITETSUKU KIKI KK 发明人 MIYAKE YOSHINOBU
分类号 H01J27/08;H01J37/147 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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