发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0286147(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880236421 申请日期 1988.09.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUROSAWA AKIKO
分类号 H01L23/522;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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