发明名称 AGING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0285776(A) 申请公布日期 1990.03.27
申请号 JP19880236222 申请日期 1988.09.22
申请人 DAINAMEESHIYON KK 发明人 KOMURO KUNIO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/326 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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