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发明名称
AGING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH0285776(A)
申请公布日期
1990.03.27
申请号
JP19880236222
申请日期
1988.09.22
申请人
DAINAMEESHIYON KK
发明人
KOMURO KUNIO
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/326
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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