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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0283940(A) 申请公布日期 1990.03.26
申请号 JP19880237044 申请日期 1988.09.20
申请人 NEC CORP 发明人 SERA KENJI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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