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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH0284748(A)
申请公布日期
1990.03.26
申请号
JP19880237701
申请日期
1988.09.21
申请人
NEC CORP
发明人
IWATA TADASHI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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