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发明名称 MULTIPLE TARGET FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH0285360(A) 申请公布日期 1990.03.26
申请号 JP19880232701 申请日期 1988.09.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIHARA MOTONOBU;NAITO KAZUNORI;SHIBATA ITARU;NAKAJIMA HIDEKAZU
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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