| 发明名称 |
ORGANIC SILICON POLYMER, ITS PRODUCTION AND USE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0284435(A) |
申请公布日期 |
1990.03.26 |
| 申请号 |
JP19880233707 |
申请日期 |
1988.09.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FUKUYAMA SHUNICHI;OIKAWA AKIRA |
| 分类号 |
G03F7/075;C08G77/48;C08G77/50;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
G03F7/075 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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