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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM OF MULTICOMPONENT COMPOSITION
摘要
申请公布号
JPH0285361(A)
申请公布日期
1990.03.26
申请号
JP19880232703
申请日期
1988.09.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAITO KAZUNORI;SAKAI YUSAKU;MATSUO SHINICHIRO;MIHARA MOTONOBU;NUMATA TAKEHIKO
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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