发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0284745(A) 申请公布日期 1990.03.26
申请号 JP19880237108 申请日期 1988.09.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIZUKA MITSUHIRO;YASUTAKE SEIICHI
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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