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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0242061(U)	申请公布日期	1990.03.23
申请号	JP19880120270U	申请日期	1988.09.12
申请人		发明人
分类号	C23C14/52;(IPC1-7):C23C14/52	主分类号	C23C14/52
代理机构		代理人
主权项
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