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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0282538(A) 申请公布日期 1990.03.23
申请号 JP19880234325 申请日期 1988.09.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKEMOTO YOSHITAKA
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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