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发明名称 PROCESSOR FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0282618(A) 申请公布日期 1990.03.23
申请号 JP19880235792 申请日期 1988.09.20
申请人 PLASMA SYST:KK 发明人 YAMAMOTO YUKIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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