| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0282524(A) |
申请公布日期 |
1990.03.23 |
| 申请号 |
JP19880234037 |
申请日期 |
1988.09.19 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SUZUKI YASUHIRO;MORI SUMIO;FUJIYAMA EIJI;SASAKI MASAMI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/44;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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