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经营范围
发明名称
CONE TYPE TARGET DISC FOR ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0282441(A)
申请公布日期
1990.03.23
申请号
JP19880234206
申请日期
1988.09.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MORI HARUHISA;IGARASHI TAKASHI;YAMAGUCHI SEIICHIRO;KASE MASATAKA
分类号
H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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