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发明名称
REACTIVE ION ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0282619(A)
申请公布日期
1990.03.23
申请号
JP19880235820
申请日期
1988.09.20
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
TABUCHI KAZUO
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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