| 发明名称 |
PULLING UP APPARATUS FOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0283295(A) |
申请公布日期 |
1990.03.23 |
| 申请号 |
JP19880233588 |
申请日期 |
1988.09.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
YAMATO MITSUHIRO;NISHIKAWA CHIHIRO;TSUJI RYUICHI;OSANAI JUNICHI |
| 分类号 |
C30B15/12;C30B30/04;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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