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发明名称 VERTICAL THERMAL TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0282521(A) 申请公布日期 1990.03.23
申请号 JP19880234047 申请日期 1988.09.19
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 IWABUCHI KATSUHIKO;TAKADO MAKOTO
分类号 H01L21/31;H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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