| 发明名称 |
LIQUID DISCHARGING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0283026(A) |
申请公布日期 |
1990.03.23 |
| 申请号 |
JP19880235651 |
申请日期 |
1988.09.20 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TERU KYUSHU KK |
发明人 |
YAMAHIRA YUTAKA;MATSUYAMA YUJI |
| 分类号 |
B01J4/00;B08B9/08;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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