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发明名称 OPERATIONAL CONDITION DETECTING METHOD FOR TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH0282000(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19880235267 申请日期 1988.09.20
申请人 NIPPON FERROFLUIDICS KK 发明人 YAMAMURA AKIRA
分类号 G01F11/24;F04B51/00;F04D19/04;F04D27/00 主分类号 G01F11/24
代理机构 代理人
主权项
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