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发明名称 SURFACE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0282142(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19880233647 申请日期 1988.09.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUKAZAWA CHIAKI;AIZAWA KENJI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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