发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0281426(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19890190382 申请日期 1989.07.20
申请人 SANSEI ELECTRON CO LTD 发明人 RII CHIYURUJIN;KIMU YUISON
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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