| 发明名称 |
THIN MAGNETIC FILM, MANUFACTURE THEREOF AND MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0281409(A) |
申请公布日期 |
1990.03.22 |
| 申请号 |
JP19880232178 |
申请日期 |
1988.09.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOSHIDA TOSHIHIRO;KOBAYASHI TETSUO;KAGAWA MASAYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/34;G11B5/31;H01F10/26;H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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