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发明名称 SUBSTRATE FOR MEASURING TEMPERATURE COEFFICIENT OF RESISTANCE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0282169(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19880235577 申请日期 1988.09.20
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 ISHIKURA CHIHARU
分类号 G01R27/02;H01L21/66 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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