| 发明名称 |
A METHOD FOR OBSERVING AN OBJECT IN A SMALL GAP AND AN APPARATUS FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0162683(B1) |
申请公布日期 |
1990.03.21 |
| 申请号 |
EP19850303515 |
申请日期 |
1985.05.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
ANDO, MORITOSHI C/O FUJITSU LIMITED |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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