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发明名称 METHOD OF HIGH CONTRAST POSITIVE PHOTORESIST DEVELOPING
摘要
申请公布号 EP0178495(B1) 申请公布日期 1990.03.21
申请号 EP19850112031 申请日期 1985.09.23
申请人 HUELS AMERICA INC 发明人 LEWIS, JAMES MARVIN
分类号 G03F7/30;G03C1/72;G03F7/32;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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