| 发明名称 |
DIRECT WAFER TEMPERATURE CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0280952(A3) |
申请公布日期 |
1990.03.21 |
| 申请号 |
EP19880102173 |
申请日期 |
1988.02.15 |
| 申请人 |
SPECTRUM CVD, INC. |
发明人 |
PRICE, J.B.;ROSLER, RICHARD S. |
| 分类号 |
H01L21/66;G01K1/14;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):G01K1/14 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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