| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR PLASMA REACTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0280579(A) |
申请公布日期 |
1990.03.20 |
| 申请号 |
JP19880233168 |
申请日期 |
1988.09.16 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/26;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
