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发明名称 TREATMENT AFTER DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH0280585(A) 申请公布日期 1990.03.20
申请号 JP19880228714 申请日期 1988.09.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWAHARA HIRONORI;KAWASAKI YOSHINAO;SATO HITOAKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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