| 发明名称 |
MANUFACTURE OF AMORPHOUS CARBON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0280558(A) |
申请公布日期 |
1990.03.20 |
| 申请号 |
JP19880233127 |
申请日期 |
1988.09.17 |
| 申请人 |
NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
SHIMIZU TOMOYASU;SUMI TOSHIO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/35;G11B5/84;G11B11/10;G11B11/105 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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