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发明名称 METHOD FOR DECIDING FILM FORMING CONDITION IN HIGH-FREQUENCY SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH0277576(A) 申请公布日期 1990.03.16
申请号 JP19880229467 申请日期 1988.09.13
申请人 FUJITSU GENERAL LTD 发明人 UEMA TSUNEAKI;YAMAMOTO MASUMI
分类号 C23C14/40 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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