| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET EPITAXIAAL AANBRENGEN VAN EEN LAAG HALFGELEIDERMATERIAAL. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL185375(C) |
申请公布日期 |
1990.03.16 |
| 申请号 |
NL19800000256 |
申请日期 |
1980.01.16 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/208;C30B19/06;C30B19/10;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/208 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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