发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0277161(A) 申请公布日期 1990.03.16
申请号 JP19880229206 申请日期 1988.09.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOMORI SHIGEKI;TSUKAMOTO KATSUHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/266 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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