发明名称 |
SPUTTERING TARGET OF TUNGSTEN-TITANIUM AND ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0277575(A) |
申请公布日期 |
1990.03.16 |
申请号 |
JP19890138995 |
申请日期 |
1989.05.31 |
申请人 |
JOHNSON MATTHEY INC |
发明人 |
JIYON EI DANROTSUPU;HANSU RENSHINGU |
分类号 |
B22F5/00;C22C1/04;C23C14/34 |
主分类号 |
B22F5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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